今天小編繼續為您介紹在光電產品制造行業中，產生廢氣污染的主要有五類產品的制造過程:半導體集成電路、TFT-LCD、LED、印制電路板(PCB)、電子終端產品。這幾個也是我們廢氣處理經常面對的。

①半導體集成電路制造過程中VOCs的排放半導體制造工藝中VOCs主要來源于光刻、顯影工序，在這些工序中要用有機溶液(如異丙醇)對晶片表面進行清洗，其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時，在光刻過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含盡有易揮發的有機溶劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理過程中產生的有機廢氣也要揮發到大術氣中。
   ②TFT-LCD制造過程中VOCs的排放包括檢査和測試在內，TFT-LCD的制造生產制工藝可達到100多道工序，生產過程中使用多種化學有機溶劑和特殊氣體，產生的VOCc多量大，組分復雜。TFT液晶面板生產排放VOCs污染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜時工程兩大部分。陣列工程中的光刻(涂膠、曝光和顯影)，以及彩膜工程中的黑色矩BM膜制造、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍，RGB)、保護膜生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜生成是產生VOCs的主要產生少量VOCs。TFT-LCD的制造過程中產生的VOCs主要是以異丙醇為主，其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯，這四種成分占了全部VOCs量的90％以上。

③LED電子組件制造過程中VOCs的排放LED電子組件生產產生的VOCs污染物主要來源于基片處理和光刻，LED生產過程中產生VOCs的種類主要有三氯乙烯、丙二醇醚酯、異丙醇、丙酮、丁酮等。

④印制電路板(PCB)制造過程中VOCs的排放在單面、雙面和多面印制電路板制作工藝中，產生的VOCs工藝環節相對較集中，主要來源于貼膜、烘干、江、印刷等工子，VOCs排放種類主要有甲醛、醇類(乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇)、酮類(丁酮)、酯類劑的貯存過程中也會有部分乙酸乙VOCs產生和排放。

⑤電子終端產品制造過程中VOCs的排放在電子終端產品制造中，VOCs的主要來源包括電路板清洗劑有機廢氣(使用有機溶劑型清洗劑)、電路板三防噴漆廢氣、機売(機箱)噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均來自工位上的局部排風系統，特點是排風量大、濃度低。

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